第565章 监视

设备状态监测系统没有任何报警！ 为了一个几乎可以忽略的波动和主观感觉，就要推迟关键测试，打乱整个调试计划，这个责任和风险，我承担不起！我必须按照既定流程推进！”

她态度坚决，转身就要在控制屏上输入通入硅烷气体的指令。

“林工！”秦浩的声音如同惊雷，在众人身后响起。

他不知何时已来到现场，目光锐利地扫过争执的双方，最后停留在rga屏幕上那个微小却顽固的水汽峰和周文兵焦虑的脸上。瞬间的权衡，电光石火！

他看到了林薇的严谨和进度压力，更看到了周文兵眼中那份源于无数次设备搏杀淬炼出的、近乎本能的危机预警！

“暂停通入硅烷！”秦浩的命令斩钉截铁，没有丝毫犹豫，“林工，立刻执行延长保压测试！重点区域：所有高应力金属密封接口、电极馈入端口！

测试时间延长至手册要求的三倍！王工，调取设备所有压力、温度、真空泵电流波形历史记录，进行毫秒级波动分析！周师傅，带人用听诊器和红外热像仪，给我一寸寸地‘摸’！

找出那个可能存在的‘沙眼’！立刻执行！”

他的目光如同磐石，压下了林薇眼中瞬间涌起的委屈和不甘，“责任和风险，我来承担！但设备安全和工艺稳定，不容有失！”

命令如山。整个pecvd区域瞬间高速运转起来。林薇咬着嘴唇，压下情绪，迅速调整设备设置，启动了严苛的延长保压测试。

王晓军扑到数据服务器前，调出海量的波形数据，眼睛如同扫描仪般快速搜寻着任何异常的毛刺或趋势。

周文兵则像一位经验丰富的老猎人，拿着一支工业听诊器，将探头小心翼翼地贴在冰冷的设备外壳上。

沿着复杂的管线和法兰接口，一寸寸地移动，布满皱纹的脸颊紧贴着金属表面，全神贯注地捕捉着那细微声音的源头。

他的徒弟则举着红外热像仪，扫描着可能的温度异常点。

时间在令人窒息的紧张中一分一秒流逝。

延长保压测试的数据曲线平稳得如同一条直线。

林薇看着屏幕，紧绷的嘴角微微松动。然而，就在测试时间即将结束的前几分钟！

“在这里！”周文兵猛地直起身，布满老茧的手指如同标枪般，精准地指向pecvd主腔体顶部一个极其隐蔽的、连接射频匹配器的高压电极引入法兰接口！

红外热像仪的屏幕上，那个位置显示出一个极其微弱的、比周围高出不到05c的小红点！“声音最‘涩’！就是这儿！有‘沙眼’！”

几乎同时，王晓军也发出一声低呼：“秦总！林工！快看真空泵电流波形！

在保压测试第57分钟和112分钟时，有两次持续时间不足10毫秒的、幅度小于1的微小电流波动！

位置…和周师傅指的地方完全吻合！是极微小的、间歇性泄漏！在高压差下才会偶尔‘呲’一下！”

真相大白！那个被完美保压测试数据掩盖的、如同幽灵般间歇出现的、极其微小的泄漏点，被“土洋结合”的精密“围猎”揪了出来！