第564章 初具雏形
海归工程师们激动地相互击掌,老师傅们则用力拍着身边年轻人的肩膀,王晓军摘下眼镜,揉了揉发酸的眼睛,脸上是疲惫却无比灿烂的笑容。 陈哲看着手中那份详实完美的测试报告,再看向不远处正被众人围住、笑得露出一口黄牙的周文兵,眼神复杂,最终化为一声长长的、心悦诚服的叹息,主动走上前。
向周文兵伸出了手:“周师傅,受教了。”周文兵一愣,随即哈哈大笑着,用沾着机油的大手用力握住了那只白皙的手:“陈工,一起使劲儿,把这示范线,干漂亮!”
融合的光芒,终于刺破了偏见的阴霾,照亮了前行的路。
……
成功的喜悦如同强心剂,注入了整个示范线项目组。那份凝聚了“土洋”智慧结晶的《清洗预氧化工艺规范》被迅速固化下来,成为示范线运行的基石之一。
秦浩抓住时机,果断决策,将“兼容性攻关”的模式迅速推广到其他关键工艺模块——光刻胶涂布显影、氮化硅介质层沉积、金属溅射…一个个联合攻关小组如雨后春笋般成立。
示范线巨大的洁净车间里,呈现出一派奇特的景象:崭新的进口设备旁,总能看到一群身影。
一边是穿着无尘服、一丝不苟按规程操作的海归工程师,另一边则是穿着同样无尘服、但眼神和动作都带着不同“味道”的老师傅或技术部骨干。
他们或围着设备控制屏低声讨论,或在设备日志上做着额外的手写记录,或拿着各种自制的、甚至略显简陋的检测工具在旁辅助观察。
进口设备精密的传感器提供着海量的标准数据流,而老师傅们则用他们积累的感官经验……
倾听设备运转的细微声响是否“圆润”,观察腔体辉光放电的颜色是否“纯正”,感受传送机械臂运行的振动是否“沉稳”——捕捉着那些传感器可能忽略的、预示潜在问题的微妙前兆。
王晓军带领的技术团队,则如同中枢神经,源源不断地将王院士团队提供的偏差数据库、案例集方法、东海厂自身摸索的适配经验。
以及现场实时采集的“标准”与“非标”数据,进行整合、分析、提炼,持续地反哺和优化着各个工艺模块的“兼容性引擎”。
示范线的建设进度,在一种前所未有的、充满张力和创造力的氛围中,稳步而高效地推进着。
主设备安装调试接近尾声,核心的pecvd(等离子体增强化学气相沉积)区域成为焦点。
巨大的pecvd设备如同银灰色的钢铁巨兽,多个沉积腔室排列整齐,用于在硅片表面生长关键的无机介质薄膜。
这是芯片内部绝缘和钝化的核心环节,薄膜的质量和均匀性直接决定器件可靠性和良率。
负责pecvd区域调试的,是一位名叫林薇的女工程师,同样海归背景,技术精湛,作风严谨细致到近乎苛刻。
她一丝不苟地按照手册流程进行着腔体清洁、射频电源校准、气路保压测试。