第564章 初具雏形(第2页)

每一次测试的数据都被她详细记录，并与手册基准线进行严格比对。

周文兵则带着一个小组，重点“盯防”这台关键设备。

他们利用一台高精度的便携式残余气体分析仪，这是王晓军费尽心思从王院士团队借来的“宝贝”，可以实时监测腔体内部极其微量的异常气体成分。

“林工，主腔体真空度达标，基础本底谱正常。”林薇看着屏幕，一丝不苟地汇报。周文兵凑在rga的屏幕前。

花白的眉毛却微微皱起，指着上面一个极其微小的、几乎淹没在本底噪声中的水分子特征峰：“等等！这水汽的尾巴…好像比上次抽完真空后，高了那么一丁点儿？虽然还在手册允许的范围内…”

林薇看了一眼，不以为意：“周师傅，这个峰值远低于警戒线，手册明确标注属于正常本底波动范围。

我们已严格按照规程进行了48小时高温烘烤除气。气路保压测试也完美通过，泄漏率远优于标准。

我认为可以开始工艺气体通入和射频点火测试了。”她的语气带着不容置疑的专业自信。

周文兵盯着那个小小的峰，又侧耳听了听设备内部真空泵持续运行的嗡鸣声，那种低沉中似乎夹杂着极其细微的、不和谐的嘶嘶声，若有若无。

他心头那点不安如同投入水中的墨滴，非但没有消散，反而隐隐晕开。他转向王晓军，低声道：“老王，这‘嘶嘶’声…不对劲儿。

还有这水汽尾巴…虽然小，但它没往下走，反而有点往上翘的意思。咱那数据库里，有没有提过进口设备这种微小的异常？”

王晓军快速在随身携带的平板电脑上调阅着王院士团队发来的资料和东海厂自建的案例库。

眉头也拧了起来：“有！案例集第42条！某研究所进口pecvd，调试期出现类似微小水汽峰和轻微异响，未重视。

后续通入硅烷工艺气体后，水汽与硅烷发生副反应，导致腔壁和电极上生成难以去除的白色粉末状沉积物，严重污染腔体，被迫停工两周进行大修！”

他抬起头，脸色凝重，“林工！建议暂缓通入硅烷！申请再做一次更长时间的气路保压测试，重点排查可能存在极其微小的、间歇性的渗漏点！尤其是金属密封法兰或者电极引入接口这些高压差位置！”

林薇的脸色瞬间变得难看。

连续数日的高强度调试已让她疲惫不堪，眼看最后一步点火测试就能完成这个关键节点，却要因为一个“莫须有”的、远低于警戒线的微小波动和老师傅的“感觉”而推迟？

她深吸一口气，强压着情绪：“王工，周师傅！我理解你们的谨慎。但手册允许的本底波动范围是有科学依据的！

气路保压测试完美通过，证明没有泄漏！你们提到的案例，其水汽峰值和异响程度远超我们目前的情况！