第563章 重塑(第2页)

表格的行是国产硅片的关键特性参数区间（如表面接触角、特定污染物峰值），列是推荐的钝化液配方、浓度、温度、时间组合。复杂的材料适配问题，开始向工程化的“菜谱”转变。

而技术部的年轻骨干们，则在王院士案例集里一个关于“快速目检晶舟花篮残留水痕判断清洗效果”的土法启发下，结合现代光学传感技术，捣鼓出了一个简易的“硅片表面亲疏水性快速检测笔”。

利用特制的测试液滴在硅片表面的铺展形态和接触角变化，通过一个便携式摄像头和图像分析软件，能在几十秒内给出定性的“正常”、“需温和钝化”、“需加强清洗”三级判断提示，并关联到参数查询表中的推荐方案。虽然粗糙，却为产线快速决策提供了可能。

秦浩如同一个高明的指挥家，不断协调着三个小组的进度，组织阶段性的评审会。他将陈哲团队严谨的理论模型、周文兵/王晓军小组庞大的实证数据、以及那个简易快速的检测方法。

如同拼图般一点点整合起来。每一次会议，都是不同思维方式的激烈碰撞，也是知识体系的艰难融合。

那份在争论、妥协、验证中逐步成型的《示范线清洗预氧化工艺规范（草案）》，其核心不再仅仅是冰冷的参数，而是一个包含了“标准主干流程”、“国产材料特性偏差判断逻辑”、“预钝化参数自适应模块”和“快速检测验证反馈”的兼容性框架！

这框架如同一个坚韧的底座，既支撑着国际标准的精密设备，又稳稳地托住了国产材料的现实。

这份凝聚了无数心血的草案，最终在示范线全新的进口清洗和氧化设备上，进行了首次全流程、多批次的量产验证运行。洁净室内，气氛紧张到了极点。

崭新的设备平稳运转，机械臂流畅地传送着不同批次的国产硅片。在线监测屏幕上的数据流如同瀑布般刷过。

周文兵紧盯着屏幕和他熟悉的设备状态指示灯，王晓军则带着技术员守在一排分析仪器旁。陈哲也放下了手册，目光紧紧追随着关键参数的变化。

一批又一批硅片顺利完成清洗和预氧化，进入后续环节。

最终的电性测试结果汇总到秦浩手中时，他那一直紧绷的脸上，终于露出了久违的、如释重负的笑容。

他举起报告，声音洪亮，带着穿透一切的力量：

“报告结果！连续五批次，不同供应商国产硅片，经新规范流程处理，关键制程参数cpk值全部达标！

最终器件关键电性参数（栅氧完整性、阈值电压均匀性）全部优于设计规格！‘东海兼容性引擎’——首次验证，成功！”

短暂的寂静后，巨大的欢呼声在洁净室内外爆发！