第560章 全部召集(第2页)

一批批贴着国际知名厂商标签的木箱被小心翼翼地运进厂房，拆封、开箱、安装。

崭新的进口设备，泛着冷冽的金属光泽，带着精密仪器特有的沉静感，被精密的吊装设备安置在规划好的位置上，如同等待检阅的士兵。

负责设备安装调试的，是一支由总部直接派遣、以海归精英为主的工程师团队。

领队的陈哲，三十出头，戴着无框眼镜，头发梳理得一丝不苟，言谈举止间带着一种受过严格系统训练的自信与优越感。

他拿着厚厚的原厂英文手册，指挥若定，每一个动作、每一个参数设置，都力求与手册上的标准流程严丝合缝。

“王工，扩散炉的恒温区校准，必须按照手册第73节流程，使用原厂校准晶圆和配套软件，分五个温度点进行，误差必须控制在±01c以内。

任何替代方案都是不被允许的。”陈哲指着电脑屏幕上复杂的校准曲线图，语气平静却不容置疑地对一旁协助的王晓军说道。

王晓军看着屏幕上那完美的曲线，又想起周文兵在“混血线”上靠着老师傅的经验和国产电偶反复微调才达到的稳定，张了张嘴，最终还是把“或许可以结合设备实际状态微调”的话咽了回去，只是点了点头。

“明白，陈工，按手册执行。”他瞥了一眼站在不远处观察的周文兵。

老周抱着胳膊，眉头拧成了一个疙瘩，看着那些年轻的海归工程师用戴着白手套的手，像对待艺术品一样调整着设备，嘴里忍不住低声咕哝了一句：“光好看顶个鸟用，东西是做出来的，不是供起来的…”

设备安装调试紧锣密鼓地进行着。终于，到了首次工艺验证的关键时刻——硅片清洗与预氧化。

这是芯片制造最前端、也最基础，却对后续工艺影响至深的环节。

洁净度极高的超纯水在崭新的进口清洗槽内循环，晶圆传送机械臂平稳而精准地运行。按照手册，流程完美无缺。

然而，当第一批完成清洗和预氧化的硅片被送入检测室，气氛骤然凝固。

高倍率电子显微镜下，硅片表面清晰地显示出大片、不规则的浅色雾状区域！这是典型的表面状态异常！

“这…怎么可能？”

陈哲脸色瞬间变了，他一把抢过检测报告，反复核对参数，“纯水电阻率182兆欧，清洗温度、时间、药液浓度…所有参数完全符合手册！流程没有任何差错！”

问题接踵而至。第二批、第三批硅片投入，同样的雾状污染如同幽灵般反复出现，批次性不良！示范线刚刚启动，就遭遇了致命的下马威。

洁净室内，空气仿佛凝固了，只有设备低沉的运行声和海归工程师们压抑的喘息。

陈哲团队陷入了前所未有的慌乱，他们一遍遍翻查手册，一遍遍重复着“完美”的流程，却始终无法驱散那层顽固的“雾”。