第542章 新设备

“老周,你真是及时雨!”杨国斌激动地拍着周文兵的肩膀。 “少废话!赶紧干活!”周文兵眼睛一瞪,抄起一把大号扳手,“卫国!你带两个人,把那几瓶‘仙水’给我看好了,配蚀刻液的时候,一滴都不能浪费!

老杨,咱俩去对付那台祖宗光刻机,它的真空密封估计全烂了,得用老孙头这些‘古董’件给它续命!”

仓库里瞬间又充满了金属碰撞、敲打、锯割和工人的吆喝声。秦浩走到那台庞大的Лk-50光刻机旁,它的外壳被拆开。

露出里面复杂而布满灰尘油污的机械结构和光学部件。他拿起一个锈迹斑斑、布满刻度的手轮——这是控制掩模版精确定位的微调机构,精度要求极高,此刻却滞涩得几乎转不动。

“秦工,这玩意儿……能行吗?”李卫国凑过来,看着那粗糙的机械结构,一脸担忧,“沈老板那边用的可是带激光干涉定位的自动步进式光刻机……”

“行不行,做了才知道。”秦浩的声音很平静,他从工具架上拿起一小罐珍贵的煤油和一把细毛刷,蹲下身,开始一点点浸润、刷洗那些锈死的齿轮和导轨。“精度不够,我们靠经验补。

一次曝光对准不了,就十次、一百次地手动微调,总能找到那个点。记住,卫国,我们现在不是在跟深圳的自动化产线比速度,我们是在跟命赛跑。

比的是一颗‘芯’能不能从这堆废铁里长出来!”

他抬起头,目光穿过弥漫着油污和湿气的昏暗空间,落在仓库角落里临时搭建的一个用塑料布勉强围起来的“净化工作台”——那不过是一张旧实验桌,顶上吊着一个从厂医院报废设备里拆下来的高效空气过滤器,呜呜地响着。

周围用透明塑料布围了一圈。王晓军穿着不太合身的旧洁净服(也是周文兵从防疫站淘来的),正戴着放大镜,用自制的真空吸笔,屏息凝神地将一片薄如蝉翼的硅晶圆片装到光刻机的承片台上。

他动作笨拙而缓慢,额头布满细密的汗珠,每一次呼吸都小心翼翼,生怕吹动了那脆弱的关键。

秦浩的眼神复杂地扫过王晓军。这个曾经的“沈逸派”,在杨国斌押上一切、周文兵带回“弹药”后,也咬着牙留了下来。但秦浩能感觉到他身上的摇摆不定,像一根绷紧的弦。技术上的巨大落差和难以想象的艰苦,正在消磨着每个人的意志。

夜色如墨,暴雨不知何时停了。仓库里只剩下几盏悬挂的白炽灯发出昏黄的光,驱散不散角落里的浓重阴影。空气里化学试剂的味道更加刺鼻。疲惫像沉重的铅块,压在每个人的肩头。

临时净化台前,气氛压抑得令人窒息。

“又失败了!”李卫国颓然摘下头上的放大镜,声音带着哭腔。他面前的工作台上,散落着十几片报废的硅片。有的上面光刻胶涂布不均,像丑陋的疤痕;有的在曝光后显影模糊,线条粘连。

最惨的是经过蚀刻后的几片,本该清晰的电路图案要么残缺不全,要么被过度蚀刻得一片狼藉。自封袋里,那枚最初闪耀着微光的“东星一号”原型片,孤零零地躺在一边,像是对他们无言的嘲讽。