第562章 全新挑战(第2页)

甚至比之前‘混血线’上直接按手册微调做出来的还要稳定!‘预钝化’引入的薄层非晶氧化层,在后续标准高温氧化过程中被完全‘消化’并整合进了高质量热氧化层!

这不是隐患,这是针对特定材料缺陷的必要补偿!”

数据,冰冷而有力。陈哲看着屏幕上那清晰的对比曲线和达标的关键参数,一时语塞。

他身后的海归工程师们也陷入了沉默,有人开始快速翻阅自己带来的文献,试图寻找反驳的依据,却发现手册里确实没有涵盖这种“中国特色”的材料偏差。

秦浩将这一切看在眼里,适时地敲了敲桌子,声音沉稳有力:“争论暂停。陈工的担忧代表了严谨的工程思维,周师傅的经验和王工的数据则提供了现实的解决方案。

现在,目标只有一个:为示范线制定出既能保证质量、又能稳定量产、且能兼容国产材料特性的清洗预氧化工艺规范!这规范,必须建立在科学验证的基础上!”

他拿起王院士寄来的《非标工艺适配案例集》和东海厂自己初步整理的“适配知识库”草稿:“王院士团队提供的,是全国各地同行在困境中摸索出的‘钥匙’。

我们东海的‘预氧化钝化’,就是其中一把钥匙的具体应用!但这把钥匙能不能开示范线上所有批次的锁?能不能适应未来可能更换的国产硅片供应商?

能不能在量产线上稳定运行?需要更系统、更深入的工作!”

秦浩的目光扫过全场,带着强大的凝聚力和不容置疑的决心:“攻关组分成三个小组:

第一组,陈工牵头!任务:深入分析‘预氧化钝化’对后续所有关键工艺步骤(尤其是栅氧化、扩散、退火)的潜在影响机理。

建立量化模型!评估边界条件!找出可能的风险点和控制窗口!理论依据必须夯实!

第二组,周师傅、王工牵头!任务:基于国产硅片偏差数据库和东海经验,设计覆盖不同厂家、不同批次国产硅片的‘预钝化’参数适配矩阵。

在实验线上进行大规模、多批次的验证实验!把‘看菜下饭’的经验,变成可量化的‘菜谱’!我要看到不同‘菜’(硅片特性)该用多少‘米’(钝化液浓度)、‘火候’(温度时间)的数据支撑!

第三组,技术部骨干负责!任务:开发简易快速的硅片表面状态在线/离线检测方法。

目标是产线操作工能在几分钟内判断这批硅片需不需要‘预钝化’、该用哪套参数!把复杂的材料科学问题,简化成产线上可执行的判断步骤!

所有数据、模型、检测方法,最终要融合成一个东西——我们示范线自己的、带有‘东海兼容性引擎’的清洗预氧化工艺规范!”