第561章 转移设备
自信的眼神开始被焦虑和一丝不易察觉的茫然取代。 “不能再等了!”秦浩的声音斩断了压抑的沉默,他大步走进气氛凝重的洁净室,目光扫过脸色难看的陈哲,最后落在角落里的周文兵身上,带着一种不容置疑的决断,“陈工,你们继续排查手册流程。
周师傅,你带人上!用你们的眼睛和手,给我找出问题在哪!”
“得令!”周文兵等的就是这句话,布满老茧的大手一挥,“老张、老李!抄家伙!带上咱的‘照妖镜’!”他口中的“照妖镜”,是几台老旧的国产光学显微镜和表面张力测试笔。
周文兵团队如同嗅到猎物的老猎手,迅速进入状态。他们没有围着昂贵的进口设备打转,而是将目标锁定在那些刚拆封的、光洁锃亮的国产硅片上。
周文兵粗糙的手指捻起一片硅片,对着洁净室顶部的灯光变换角度仔细观察,又凑到鼻子前极其轻微地嗅了一下。
“老张,测测这水的‘性子’,看它‘咬不咬人’!”他吩咐道。
老张立刻拿出几片不同批次的国产硅片边角料,用表面张力测试笔小心地点上几滴超纯水,观察水滴的铺展形态和接触角变化。
王晓军则带着便携式电导率仪和ph计,紧跟在旁,同步记录着每一处细微的异常数据。
时间一分一秒过去。陈哲团队还在手册和电脑数据里寻找答案,周文兵这边却已有了方向。
“秦总!陈工!有谱了!”周文兵直起腰,指着显微镜下硅片边缘一个极其细微、若非经验老道极易忽略的浅淡晕圈,“问题不在水,也不在槽子!
是这硅片!新批次的国产货,表面‘油性’不对劲!太‘滑’了!咱这进口槽子里的清洗药水,是按标准硅片配的‘猛药’。
对付这‘滑溜’的皮子,劲儿使大了反而洗不干净,药水残留和硅片表面那层‘油膜’没除尽的混在一起,一进高温氧化炉,就‘烧’成这层雾了!”
“硅片表面特性批次差异?”陈哲下意识地反驳,“手册里没有相关预警!所有硅片入厂检验都符合通用标准!”
“通用标准顶个屁用!”周文兵毫不客气地顶了回去,“你手册上写的是给谁用的?是给那些外国硅片用的!咱这国产的娃,水土不服!光看那纸面上的‘合格’有屁用!得看它‘吃不吃得下’你这套洋流程!”他转向秦浩,斩钉截铁。
“得改!得给它先‘打打底子’,加一道‘钝化’!用低浓度的氧化液,温度低点,时间短点,先给它表面那层‘滑溜皮’磨糙实了!
再走后面的标准清洗氧化流程!这叫‘预氧化钝化’!”
“预氧化钝化?”陈哲脸色铁青,“这完全是违反手册流程的!
没有任何理论依据!会引入不可控的变量!我坚决反对!”
“反对?”秦浩的声音如同淬火的钢,冰冷而坚硬。
他走到两人中间,目光如电,“陈工,手册流程试了三天,结果是什么?是百分之百的批次性不良!