第559章 扩散工艺(第2页)

“王工,”秦浩看向王晓军,语气缓和下来,“把这次的所有工艺参数调整、测试数据,整理成详细的报告。

特别是周师傅提出的‘局部表面处理’和‘动态温控补偿’方案,用数据说话,形成我们的‘东海经验’。

这份报告,连同芯片样品,一起给王院士团队发过去!”

“明白!”王晓军用力点头,这一次,眼神里没有了之前的抵触,反而多了一丝敬佩和认同。他看向周文兵的眼神也彻底变了。

裂缝之中,一缕属于东海厂自己的光芒,顽强地透射出来。

几天后,秦浩的办公桌上,摆着一份来自王院士团队的回复传真,以及一个厚厚的牛皮纸文件袋。

传真内容很简短,却字字千钧:

“秦浩同志:

东海经验’报告及样片收悉。数据详实,结果令人惊喜。工艺调整思路极具启发性,尤其‘设备特性适配’与‘材料缺陷针对性补偿’理念,值得在国产化替代进程中深入研究和推广。

兹附上团队内部整理的《国产半导体设备及材料特性偏差数据库(初稿)》及《非标工艺适配案例集》,供参考。

望加强交流,共克时艰。

王振邦”

秦浩拿起那个厚厚的文件袋,抽出里面装订整齐的资料。

里面不再是高高在上的“标准”流程,而是大量国产设备、国产材料的实测性能参数、常见缺陷类型、以及针对这些缺陷和偏差。

国内一些研究所和工厂摸索出的“非标准”解决方案案例!虽然粗糙,虽然不成体系,但却充满了在夹缝中求生存的智慧和生命力!

这份资料,价值连城!它不是现成的答案,而是一把钥匙,一把打开如何将“洋标准”落地到“中国土壤”的钥匙!

秦浩的手指抚过纸张上那些手写的标注和实测数据,心中激荡不已。

他抬起头,望向窗外。示范线工地的喧嚣依旧,但在他眼中,那不再是冰冷的钢铁丛林。

他仿佛看到,在那代表着未来的高标准净化车间里,在那即将安装的进口设备旁边,必须留有一块空间,一块属于“东海经验”、属于“土法”智慧的空间,

必须有一支既懂“标准”、更懂“适配”的工艺团队。

……

王振邦院士发来的那份牛皮纸文件袋,沉甸甸的,压在秦浩手上,也压在他心里。

纸袋边缘被磨得有些毛糙,显是经过了无数人的翻阅。封面上是王院士那力透纸背的字迹:《半导体设备及材料特性偏差数据库(初稿)》与《非标工艺适配案例集》。

这不是一本印刷精美的操作指南,而是无数身处困境的工程师在暗夜里摸索留下的斑斑印记,是滚烫的经验与沉重的教训凝结成的矿石。

秦浩的手指在粗糙的纸面上划过,仿佛能触摸到那些未曾谋面的同行们指尖的油污与汗水。