第556章 防护(第2页)
清洗成功的硅片被如同珍宝般传递出去。周文兵像捧炸药包一样,小心翼翼地将它们装进新改造的扩散炉石英舟。炉门关闭。温度曲线启动。
所有人的心都提到了嗓子眼。清洗只是第一步,扩散掺杂才是真正的考验。 低纯度硅片基底的不均匀性,对掺杂工艺是致命的挑战!
时间一分一秒过去。扩散炉温控仪表的曲线在艰难地爬升、稳定。
周文兵和负责的老师傅眼睛一眨不眨地盯着屏幕,额头上的汗珠滚滚而下。空气中弥漫着紧张得几乎要凝固的气氛。
终于,漫长的扩散和退火程序结束。炉门开启。石英舟被小心翼翼地取出。硅片被传送到光刻区。
王晓军深吸一口气,强压住手的颤抖,将第一片承载着所有人希望的硅片装上了那台被伺服电机强行驱动的、依旧发出不祥呻吟的Лk-50光刻机承片台。
光刻胶旋涂、软烘、手动对准(结合伺服微调)、曝光、硬烘、显影……
每一步都如同在刀尖上跳舞。每一个环节都可能因为硅片基底的微小缺陷或设备的突然罢工而前功尽弃!
当第一片完成光刻图形转移的硅片被送到蚀刻槽前时,整个仓库里的人都屏住了呼吸。
王晓军亲自操作,将硅片缓缓浸入蚀刻液。时间一秒一秒地流逝……
硅片被取出、清洗、去胶。
王晓军颤抖着双手,将它放到了那台借来的、分辨率不高的显微镜下。
他弯下腰,将眼睛凑近目镜。
一秒。
两秒。
三秒……
时间仿佛凝固了。
突然!
王晓军的身体猛地一僵!随即剧烈地颤抖起来!他猛地直起身,布满血丝的眼睛里爆发出难以置信的、狂喜的光芒。
他张着嘴,想说什么,却因为极度的激动而只能发出“嗬嗬”的嘶哑声!他一把抓起那片硅片,高高举起,对着仓库顶棚那盏昏黄的灯!
灯光下,硅片表面,虽然线条边缘因为基底缺陷而略显粗糙,但一个清晰的、由无数微小存储单元构成的阵列图案,赫然在目。
阵列的核心,那个熟悉的、由金属导线蚀刻而成的五角星,在不算完美的基底上,依旧顽强地闪烁着金属的光泽。
虽然不完美,虽然还有瑕疵,但它的核心功能——那代表着64k存储容量的阵列,成了!
“成了!阵列成了!星……星还在!”王晓军终于吼了出来,声音嘶哑破碎,却如同天籁!
“哗——!!!”
压抑了三天三夜、经历了无数次失败和绝望的仓库,瞬间被惊天动地的狂喜彻底点燃!欢呼声、哭喊声、金属器皿的敲击声……如同压抑已久的火山,轰然爆发。
工人们激动地拥抱在一起,又哭又笑!周文兵老泪纵横,狠狠拍打着冰冷的扩散炉外壳。
李卫国跳上工作台,挥舞着手臂!
秦浩站在原地,看着那片在王晓军手中、在灯光下倔强闪烁的“星”。